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        產品中心

        TS3000-SE Probe System

        TS3000-SE是TS3000探針臺系統的升級開發,該系統配備了MPI ShielDEnvironment?,可實現超低噪聲,滿足設備的需求表征,晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應用。
        優勢:
        適用于多種晶圓量測應用
        ? 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS
        ? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
        ? 可靠性測試 - 精確的壓力測試
        MPI ShielDEnvironment? 屏蔽環境
        ? 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量境,以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果
        ? 支援 fA 級超低噪 IV 量測
        ? 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作
        ? 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C

        特點與優勢

        • ShielDEnvironment™

          MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統,可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

           

           

           

           

           

           

        • ShielDCap™

          MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin或高功率等多種測試組合。

           

           

           

           

        • 探針懸??刂?/h1>

          MPI探針懸??刂芇HC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制,以實現探針到晶圓的精確定位。

           

           

           

           

           

           

           

           

        • 快捷的晶圓裝載

          雙前門通道和獨特的卡盤設計使150、200、300mm晶圓,及微小器件的快速更換

          兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面,可以很方便地進行裝卸。

           

           

           

           

           

        • 集成硬件控制面板

          智能硬件控制面板完全集成到探針系統中,并基于數十年的經驗和客戶互動而設計,隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

           

           

           

           

           

           

           

        • 溫控系統

          MPI和ERS共同設計了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列,具有無與倫比的熱靈活性,可將變溫時間減少60%,

          減少轉換時間,改善電氣性能,在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統的附加價值。

          便捷式的觸摸屏實時顯示卡盤溫度,觸摸屏位于操作員前方的便利位置,以實現快速的操作和即時的反饋。

           

           

        • ERS獨特的AC3冷卻技術

          MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,與市場上的其他系統相比,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

           

           

           

           

           

           

           

           

        • 安全測試管理(STM)系統

          獨特的STM系統可防止在測試過程中打開正門,以保證測試過程的安全,任何情況下都無法打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚,系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足,則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式,迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環境,使TS3000-SE的測量更加安全,可靠和方便

           

           

           

           

           

        • 儀器集成

          可選的儀器架可縮短電纜長度,并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

           

           

           

           

           

           

        • 軟件套件SENTIO®

          MPI自動工程探針系統由獨特且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO®軟件套件,簡單直觀的操作節省了大量的培訓時間。“滾動”,“縮放”,“移動”命令模仿了現代智能移動設備,使每個人都可以在短短幾分鐘內成為專家。在活動應用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。

           

           

           

           

           

           

           

        亚洲国产一区二区三区

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