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        產品中心

        TS150-AIT & TS200-THZ

        TS150-AIT和TS200-THZ探針系統專為新興的THz應用而設計,例如高速5G通信,衛星,非侵入性光譜,醫療保健設備以及短距離汽車雷達等,其方法是在同一探針臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統是業界首個明確設計的150 mm和200 mm探針系統,可結合毫米波,太赫茲(THz)和自動阻抗調諧器應用的要求,以最佳的測量方向性提供準確的測試。
        任意最高可達1.5THz的帶寬、差分或寬帶擴頻器和/或自動阻抗調諧器的無縫集成;
        擴展器/調諧器集成的新穎設計,可實現最大的測量動態;
        最大的機械穩定性和可重復性,結合方便和安全的操作。

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          TS150-AIT & TS200-THZ細節優勢

          MPI TS200-THZ手動探針系統具有無與倫比的功能。這些高度可重復性(1μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300μm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

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          TS150-AIT & TS200-THZ細節優勢

          MPI TS200-THZ手動探針系統具有無與倫比的功能。這些高度可重復性(1μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300μm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

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          TS150-AIT & TS200-THZ細節優勢

          MPI TS200-THZ手動探針系統具有無與倫比的功能。這些高度可重復性(1μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300μm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

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          TS150-AIT & TS200-THZ細節優勢

          MPI TS200-THZ手動探針系統具有無與倫比的功能。這些高度可重復性(1μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300μm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

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          TS150-AIT & TS200-THZ細節優勢

          MPI TS200-THZ手動探針系統具有無與倫比的功能。這些高度可重復性(1μm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300μm)和加載(3mm)的三個離線位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞,同時提供直觀的控制,準確的觸點定位和安全設置。 附加的Probe Hover Control?具有懸停高度(50、100或150 μm),可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。

        • Lock Position
        • Unlock & loading Position
        • Separation Position
        • Contact Position with 50 um Hover Height
        • In Contact

        特點與優勢

        • 氣浮式移到系統

          MPI獨特的氣墊載物臺設計,具有簡單的單手定標器控制,為快速的XY導航和晶圓裝載提供了無與倫比的操作便利性,同時搭配精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯,不影響精確定位能力。

           

           

           

        • 卡盤Z調整

          TS150-THZ具有10mm的精細卡盤Z調整,旨在靈活地集成不同的擴頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利,可以輕松快速地進行設置。

           

           

           

        • 微型定位器

          專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體——東西向配置的下行MP80大面積微選址器。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置,可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

           

           

           

           

           

           

        • MP80-DX

          市場上另一個MPI開拓性解決方案——獨特的MP80-DX,具有低至1µm的簡單、精確的精確度,是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇,即多行TRL——毫米波和次太赫茲范圍內唯一的RF校準方法。有關更多詳細信息,請訪問 MPI QAlibria® 軟件。

           

           

           

           

        • 多種卡盤選項

          TS200-THZ提供多種卡盤選件,以滿足不同的預算和應用要求,例如MPI:帶BNC連接器的標準RF卡盤;

          專用mmW卡盤,完全內置具有高導熱率(> 180 W / Km)的特殊陶瓷;甚至

          ERS AirCool射頻卡盤(從20°C到200°C或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。

          所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的RF校準,尤其是在40 GHz以上的范圍內。

           

           

           

           

        • 多種光學選項

          提供專用的MPI光學元件  ,可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學變焦高達12倍,工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應用。

           

           

           

           

           

        • 擴頻器集成

          TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設計。為了最大程度地減少到DUT的距離并提供最佳的測量方向性,MPI引入了一種新穎的概念,將擴展器懸停在整個200mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關鍵功能是輕松,便捷和快速地重新配置。

           

           

           

           

           

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