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        產品中心

        TS150-THZ

        MPI TS150-THZ是全球首個150 mm高頻專用探針臺,旨在對基板和150 mm晶圓進行精確分析。TS150-THZ可以支持多種RF和毫米波(mmW)應用,例如高達1.5THz的寬帶,帶狀波導,次THz,負載牽引和RF噪聲。它提供了無與倫比的功能:
        ? 無縫集成任何高達1.5 THz的寬帶,差分或寬帶擴頻器
        ? 最大的機械穩定性和可重復性,結合方便和安全的操作
        ? 最小化測量路徑以獲得最佳的測量方向性

        特點與優勢

        • 卡盤移動系統

          TS150-THZ具有10mm的精確卡盤Z調整,旨在靈活地集成不同的擴頻器,例如Rohde&Schwarz,VDI或OML。 在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案進行設置時極為有利,可以輕松快速地進行設置。

           

           

           

           

           

        • MicroPositioners的多種配置

          專用且極堅固的探針壓板設計可容納兩個東西方向固定的MP80大面積MicroPositioner。 通過將兩個南北“電橋”作為標準配置,可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。

           

           

           

           

        • 探針座系統

           

           

          獨特的MP80-DX具有低至1µm精確的清晰度,搭配三豐數顯千分尺。

           

           

           

           

           

        • 成像系統

          可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12,其光學變焦高達12倍,工作距離超過45毫米。由于集成測試頭/調諧器固有的空間限制,要求與DUT的距離最短,因此這種顯微鏡的體積小,非常適合RF和mmW應用。

           

           

        • 多種卡盤選項

          TS150-THZ提供多種卡盤選件,以滿足不同的預算和應用要求,例如MPI的標準RF,帶BNC連接器;專用mmW 卡盤,完全內置具有高導熱率(> 180W / Km)的特殊陶瓷;ERS AirCool射頻卡盤(溫度范圍從20°C到200°C,或更高),帶有集成的鍍金頂面和小的真空孔。每個卡盤包括兩個用陶瓷材料制成的輔助卡盤,用于精確的RF校準。低于THz的配置可獲得卡盤提升選項。

           

           

           

           

           

        • TS150-THZ的模塊化設計概念為降低擁有成本提供了獨特的升級途徑。

           

           

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