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        探針臺選型的注意事項(二)
        發布時間:2022-03-21   瀏覽:

        接上文:探針臺選型的注意事項英鉑科學儀器詳解

        探針臺選型的注意事項

        ※最大需要測幾inch的晶圓或者器件?是否需要測試破片或者單顆芯片,最小的單顆芯片尺寸?

        ※探針臺機械精度要求多高?

        ※點測樣品的電極尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內部的metal線路?

        ※最多需要幾個探針同時去點測?

        ※是否會用到探針卡測試?

        ※光學顯微鏡的最小分辨率需要用到多少?

        ※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測?

        ※探針點測時,對電流的要求能否達到100fa或者以下?低

        電容要求能否要做到0.1pf?是否有射頻需求?

        ※接駁的測試儀器接口有哪些?

        ※測試環境時是否會需要加熱或者降溫? 是否需要密閉腔體?

        ※對chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?

        ※是否需要防震桌?

        ※若添置防震桌,是否有壓縮空氣?

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        本文關鍵詞:

        探針臺 國產探針臺 探針臺使用 探針臺選擇 高低溫探針臺


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